智能氮气柜整体采用304不锈钢防静电烤漆处理外形美观大方。 产品编号：TEB30A47-000-R0； 存放数量：100柜； 控制系统：ICMS系统； 支持条码：二维码； 系统接口：MES系统接口； 操作方式：触摸屏操作； 材质：不锈钢+表面烤漆； 尺寸：2300*600*1600 mm； 额定电压：AC220V； 额定电流：＜3A； 最大功耗：＜50W； 环境温度：-10~60℃； 温度控制范围：10~30℃； 相对湿度监控范围：RH=0~75%； 联机支持：3个柜子联机使用； 语言：中、英、繁体语言。

12寸晶圆盒采用铝合金材质制作而成，表面阳极氧化处理，稳固耐用，耐磨耐腐蚀！ 编号：DSF20A12-000-R0； 材质：6063铝型材； 槽数：13槽； 尺寸：394.4*387*192.5 mm； 重量≈6.3 kg； 起始位：32.7 mm； 平整度≤0.05mm； 氧化工艺：表面阳极氧化处理； 适用于disco切割划片设备，可根据要求进行定制；